電子光學超純水處理采用除鐵錳過濾器及成套解決方案

來源: 北京萊金源水處理技術有限公司

電子光學超純水處理采用除鐵錳過濾器及成套解決方案

  　電子工業用超純水的應用領域
　　1)半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路。
　　2)超純材料和超純化學試劑。
　　3)實驗室和中試車間。
　　4)汽車、家電表面拋光處理。
　　5)光電產品。
制備電子工業用超純水的工藝流程
　　電子行業制備超純水的工藝大致分成以下幾種：
　　方案：
　　預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15 MΩ?cm)
　　方案二：
　　預處理-反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-二反滲透-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥17 MΩ?cm)
　　方案三：
　　預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18 MΩ?cm)
　　在電子光學超純水設備，通常采用成熟、可靠、自動化程度高的RO+EDI+混床除鹽水處理工藝;或者是全膜法處理工藝：UF+RO+EDI+拋光混床。保處理后出水電阻率達到18 MΩ?cm以上。
　電子光學行業用電導率0.055μS/cm的超純水，在普通EDI超純水設備后，通常還裝設拋光混床進行處理。這種拋光混床用樹脂是相對密度很接近的陰樹脂和陽樹脂的混合物，由于無法將這種樹脂的陰、陽樹脂分離，不能用酸堿將它們分別再生，所以這種拋光樹脂失效后，棄之不用。拋光混床又稱次性混床，般情況用在工藝末端，用來更進步提高產水水質。拋光混床的樹脂是不能再生重復使用的。般出水水質都能達到18兆歐以上，以及TOC、SiO2都有定的控制能力。